一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法

	一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法
	马骏驰; 杨洋; 吴森; 刘柱; 于鹏; 刘连庆
	2019-07-30
著作权人	中国科学院沈阳自动化研究所
国家	中国
文献子类	发明
产权排序	1
英文摘要	本发明涉及一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法。包括以下实现方法：通过二维反馈控制方法让探针的反馈运动方向与水平成一角度，使得探针针尖能够沿着侧壁方向进行逐点触碰扫描，从而实现侧壁形貌点的信息采集；通过探针爬壁轨迹控制方法实现探针向上爬壁和向下爬壁两种运动轨迹；通过基于先验知识的反馈角度预测方法判断侧壁位置，从而可以预测反馈控制方向角度。本发明改变了传统AFM仅在垂直于样品水平面方向进行反馈控制的成像模式，能够对类沟槽形状的纳米结构进行精确三维形貌测量，为半导体芯片、MEMS等微纳结构三维参数测量提供了有效的技术手段。
申请日期	2018-01-24
语种	中文
状态	公开
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/25354]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
作者单位	中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	马骏驰,杨洋,吴森,等. 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法. 2019-07-30.