| 基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链 | |
| Zhang, Yongyu[1]; Chen, Xiaoyang[2]; Zhao, Jiangming[3] | |
| 刊名 | 机械工程学报
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 42页码:193-198 |
| 关键词 | 微制造 多晶硅 薄膜 柔性铰链 直圆柔性铰链 微机电系统 |
| ISSN号 | 0577-6686 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2391625 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China[2]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China[3]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang, Yongyu[1],Chen, Xiaoyang[2],Zhao, Jiangming[3]. 基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链[J]. 机械工程学报,2006,42:193-198. |
| APA | Zhang, Yongyu[1],Chen, Xiaoyang[2],&Zhao, Jiangming[3].(2006).基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链.机械工程学报,42,193-198. |
| MLA | Zhang, Yongyu[1],et al."基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链".机械工程学报 42(2006):193-198. |
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