原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工

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	原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工
	刘忠超 1; 高爱莲 1; 刘增磊 1; 杨旭 1; 李密3 ; 王栋 2
刊名	微纳电子技术
	2018
卷号	55 期号:12 页码:910-916
关键词	原子力显微镜(AFM) 纳米焊接纳米加工场蒸发沉积纳米器件
ISSN号	1671-4776
其他题名	Nano-Deposition Fabrication Assisted by the Electric Field with the Atomic Force Microscope
产权排序	3
英文摘要	主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米点加工中,加工参数保持不变,纳米点的高度变化不大,平均高度约为1.5 nm。纳米线加工中,通过改变加工电压和探针运动速度,加工得到了不同高度的纳米线,其高度最小约为1.5 nm,最高可达65 nm。总体上,沉积加工重复性、可控性较好。然而,沉积加工的起始位置容易产生高度过大的点,并且在纳米线与纳米字符的加工中,加工结果呈现规律性的偏移。分析表明,以上问题主要与探针形貌以及大气环境有关。此外,加工电压过高时也容易导致高度不均匀。
语种	中文
资助机构	国家自然科学基金资助项目(61504072) ; 河南省高等学校重点科研项目(19A413010)
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/23561]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者	刘增磊
作者单位	1.南阳理工学院电子与电气工程学院 2.山东交通学院轨道交通学院 3.中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘忠超,高爱莲,刘增磊,等. 原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工[J]. 微纳电子技术,2018,55(12):910-916.
APA	刘忠超,高爱莲,刘增磊,杨旭,李密,&王栋.(2018).原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工.微纳电子技术,55(12),910-916.
MLA	刘忠超,et al."原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工".微纳电子技术 55.12(2018):910-916.