| 题名 | 用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究 |
| 作者 | 吴杰 |
| 答辩日期 | 2018 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 导师 | 崔铮 ; 苏文明 |
| 关键词 | 柔性电子，薄膜封装，有机无机交替结构，水氧阻隔性，原子层沉积，等离子体增强化学气相沉积 |
| 学位名称 | 硕士 |
| 其他题名 | 用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6352]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_印刷电子学部_崔铮团队 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴杰. 用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究[D]. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所. 2018. |
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