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	二步沉积法制备ZnO薄膜的方法及其装置
	赵岳[1]; 吕志勇[2]; 梁小燕[3]; 李召[4]; 王林军[5]; 闵嘉华[6]
	2011
URL标识	查看原文
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2307819
专题	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	赵岳[1],吕志勇[2],梁小燕[3],等. 二步沉积法制备ZnO薄膜的方法及其装置. 2011-01-01.

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