| 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程 | |
| 程德鑫 ; 孔照荣 ; 唐学渊 ; 张儒杰 ; 张俊香 ; 蔡体杰 ; 李景芝 ; 张喜善 ; 高增 ; 吴华春 ; 钟秀贞 ; 储毅 ; 王武明 ; 赵敏 ; 韩同生 ; 李康善 | |
| 1991-09-04 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN90105033.4 |
| 专利类型 | 发明 |
| 关键词 | 物理化学 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 ; 化学工业部光明化工研究所 |
| 中文摘要 | 一种氮（氩、氦）通用终端超净装置由ＲＣ反 应柱，一对ＲＡＣ反 应去湿组合柱，GＣ反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀，因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将４Ｎ级原料气连续净化成６Ｎ级以上超净气体。此外，该装置的抽空机组不必连续抽空运行，吹扫用的成品气只占成品气的１％。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 学科主题 | 物理化学 |
| 公开日期 | 1991-09-04 ; 2011-07-11 |
| 申请日期 | 1990-02-20 |
| 语种 | 中文 |
| 资助信息 | 待填写 |
| 专利证书号 | 带填写 |
| 专利申请号 | CN90105033.4 |
| 专利代理 | 汪惠民 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/111083]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程德鑫,孔照荣,唐学渊,等. 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程. CN90105033.4. 1991-09-04. |
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