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	Impacting Factors and Improvement for within-shot IDSAT uniformity
	Tao, Jiajia[1]; Li, Yong[2]; Shi, WeiMin[3]; Jin, Da[4]; Li, Helen[5]; Fan, Zhong[6]; Fan, Forrest[7]; Chang, Tangfeng[8]; Zhu, Star[9]; Ju, Jianhua[10]
	2013
会议名称	CHINA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY INTERNATIONAL CONFERENCE 2013 (CSTIC 2013)
会议日期	2013-03-19
页码	129-134
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2290372
专题	上海大学
作者单位	Shanghai Univ, Sch Mat Sci & Engn, Shanghai 200072, Peoples R China.
推荐引用方式 GB/T 7714	Tao, Jiajia[1],Li, Yong[2],Shi, WeiMin[3],et al. Impacting Factors and Improvement for within-shot IDSAT uniformity[C]. 见:CHINA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY INTERNATIONAL CONFERENCE 2013 (CSTIC 2013). 2013-03-19.

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