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	MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究
	陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1]
刊名	《传感器与微系统》
	2017
卷号	36页码:1-5
关键词	微机电系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2179726
专题	华南理工大学
作者单位	1.[1]工业和信息化部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室,广东广州510610 2.[2]广东工业大学自动化学院,广东广州510006 3.[3]华南理工大学电子与信息学院,广东广州510640
推荐引用方式 GB/T 7714	陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1]. MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究[J]. 《传感器与微系统》,2017,36:1-5.
APA	陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1].(2017).MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究.《传感器与微系统》,36,1-5.
MLA	陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1]."MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究".《传感器与微系统》 36(2017):1-5.

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