| Improvement of Film Thickness Uniformity in Meniscus Coating | |
| Xiaolong Jiang; Shaojun Fu; Yilin Hong; Huoyao Chen; Qingbo Wang; Jiping Lin; Zhengkun Liu | |
| 会议日期 | 0000-00-00 00:00:00 |
| 会议地点 | 西安 |
| 关键词 | meniscus coating uniformity photoresist |
| 会议录 | 第四届光电子与微纳光学进展国际会议论文集
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2150709 |
| 专题 | 安徽大学 |
| 作者单位 | 1.Key Laboratory of Optic-electronic Information Acquisition and Manipulation Minister of Education,Anhui University 2.National Synchrotron Radiation Laboratory,University of Science and Technology of China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xiaolong Jiang,Shaojun Fu,Yilin Hong,et al. Improvement of Film Thickness Uniformity in Meniscus Coating[C]. 见:. 西安. 0000-00-00 00:00:00. |
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