| 原子力显微镜的光点跟踪装置; 原子力显微镜的光点跟踪装置 | |
| 徐文东 ; 杨金涛 ; 吉小明 | |
| 2006-04-05 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200410053442.9 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置，在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块化。本发明具有结构简单，各单元部件易于调 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-08-04 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200410053442.9 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9330]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐文东,杨金涛,吉小明. 原子力显微镜的光点跟踪装置, 原子力显微镜的光点跟踪装置. ZL200410053442.9. 2006-04-05. |
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