原子力显微镜的光点跟踪装置; 原子力显微镜的光点跟踪装置 | |
徐文东 ; 杨金涛 ; 吉小明 | |
2006-04-05 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL200410053442.9 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置,其构成是:所述的激光杠杆:包括激光器,在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜,该反射镜配有调节装置,在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖,该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上,且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点,在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器;一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件;元器件模块化。本发明具有结构简单,各单元部件易于调 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 2004-08-04 |
收录类别 | 专利 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200410053442.9 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9330] |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐文东,杨金涛,吉小明. 原子力显微镜的光点跟踪装置, 原子力显微镜的光点跟踪装置. ZL200410053442.9. 2006-04-05. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论