原子力显微镜的光点跟踪装置; 原子力显微镜的光点跟踪装置
徐文东 ; 杨金涛 ; 吉小明
2006-04-05
专利国别中国
专利号ZL200410053442.9
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置,其构成是:所述的激光杠杆:包括激光器,在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜,该反射镜配有调节装置,在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖,该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上,且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点,在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器;一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件;元器件模块化。本发明具有结构简单,各单元部件易于调
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2004-08-04
收录类别专利
语种中文
专利申请号CN200410053442.9
内容类型专利
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9330]  
专题上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
徐文东,杨金涛,吉小明. 原子力显微镜的光点跟踪装置, 原子力显微镜的光点跟踪装置. ZL200410053442.9. 2006-04-05.
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