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	Silicon-Silicon Anodic Bonding Process with Embedded Glass (CPCI-S收录)
	Cui, W. P.[1,2]; Liu, G. D.[2]; Zhang, F. S.[2]; Hu, H.[2]; Gao, C. C.[2,3]; Hao, Y. L.[2,3,4]
关键词	silicon anodic bonding glass embedded
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2042632
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Cui, W. P.[1,2],Liu, G. D.[2],Zhang, F. S.[2],等.Silicon-Silicon Anodic Bonding Process with Embedded Glass (CPCI-S收录).

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