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	A blu-ray laser diode based dual-beam interference lithography for fabrication of diffraction gratings for surface encoders (CPCI-S收录)
	Zhu, Xiangwen[1]; Li, Xinghui[1]; Zhou, Qian[1]; Wang, Xiaohao[1]; Ni, Kai[1]
关键词	Interference lithography Laser diodes Coherence length Amplitude division Surface encoder
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2040427
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhu, Xiangwen[1],Li, Xinghui[1],Zhou, Qian[1],等.A blu-ray laser diode based dual-beam interference lithography for fabrication of diffraction gratings for surface encoders (CPCI-S收录).

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