C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究

doi:10.16078/j.tribology.2017.04.016

CORC > 兰州化学物理研究所 > 中国科学院兰州化学物理研究所 > 固体润滑国家重点实验室

	C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究
	张晓琴 1,2; 于富成 1; 柴利强 2; 许佼2 ; 贺腾飞 1,2; 逄显娟 3; 王鹏2
刊名	摩擦学学报
	2017
卷号	37 期号:4 页码:537-543
关键词	磁控溅射 Mscn复合薄膜自形成多层结构力学性能摩擦学性能 Magnetron Sputtering Mscn Composite Films Self-assembled Multilayer Mechanical Properties Tribological Properties
ISSN号	1004-0595
DOI	10.16078/j.tribology.2017.04.016
英文摘要	采用射频磁控溅射法，在氩和氮混合气氛下共溅射二硫化钼和石墨靶制备不同石墨靶溅射功率的C/N共掺MoS₂复合薄膜(MSCN). 通过EDS、XPS、SEM和TEM对薄膜的成分及微观组织结构进行分析；利用纳米压痕仪，高真空摩擦试验机和UMT-2摩擦试验机分析薄膜的力学和摩擦学性能，并探讨了C/N共掺及对薄膜结构、力学和摩擦学性能的影响. 结果表明：MSCN复合薄膜中的C含量随着石墨靶溅射功率的增加而增加；C/N共掺使得薄膜结构致密平整；当石墨靶溅射功率350 W时，薄膜呈现自形成纳米多层结构，该结构的出现使得薄膜最高硬度可达9.76 GPa，并且在高真空和大气环境下相比纯MoS₂薄膜表现出更低的摩擦系数以及良好的高耐磨性.
学科主题	材料科学与物理化学
资助项目	辐照环境下润滑与防护材料组
语种	中文
资助机构	国家自然科学基金项目(51227804;U1404504)
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.licp.ac.cn/handle/362003/22231]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者	于富成; 王鹏
作者单位	1.兰州理工大学材料科学与工程学院，甘肃兰州 730050 2.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州 730000 3.河南科技大学高端轴承摩擦学技术与应用国家地方联合工程实验室，河南开封 475001
推荐引用方式 GB/T 7714	张晓琴,于富成,柴利强,等. C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(4):537-543.
APA	张晓琴.,于富成.,柴利强.,许佼.,贺腾飞.,...&王鹏.(2017).C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究.摩擦学学报,37(4),537-543.
MLA	张晓琴,et al."C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究".摩擦学学报 37.4(2017):537-543.