不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能 | |
贺腾飞1,2; 吴有智1; 许佼2; 慕波3; 柴利强2; 张晓琴1,2; 王鹏2 | |
刊名 | 摩擦学学报 |
2017 | |
卷号 | 37期号:1页码:35-43 |
关键词 | 薄膜 Mos2/dlc多层薄膜 不同调制周期 微观结构 力学性能 摩擦学性能 Mos2/dlc Multilayer Film Different Modulation Periods Microstructure Mechanical Properties Tribological Properties Frction Property |
ISSN号 | 1004-0595 |
DOI | 10.16078/j.tribology.2017.01.005 |
英文摘要 | 采用多靶射频磁控溅射方法, 在Si(100)衬底上制备不同调制周期(Λ分别为54 nm、30 nm、18 nm) MoS2/类金刚石(DLC)多层薄膜. 利用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜、纳米压痕仪研究多层膜的形貌、微观结构及力学性能受调制周期的影响规律; 利用球-盘摩擦试验机考察薄膜在大气环境下的润滑性能. 结果表明: 采用交替沉积MoS2/DLC多层膜可有效抑制溅射MoS2中柱状结构生长, 制备的薄膜结构致密; 多层膜硬度随调制周期的增加而增大. 透射断面分析表明: 多层膜层间界面不平整但周期性结构清晰且致密, 其调制周期厚度与试验设定值基本一致. 与纯MoS2薄膜相比, 调制周期为54 nm的薄膜具有较好的法向承载及弹性恢复能力,其硬度最高, 达7.15 GPa; 法向载荷为5 N时, 该薄膜在大气环境(相对湿度约30%)下具有最低的摩擦系数(0.09)和最低的磨损率[1.34×10–7 mm3/(N·m)]. |
学科主题 | 材料科学与物理化学 |
资助项目 | 辐照环境下润滑与防护材料组 |
语种 | 中文 |
资助机构 | 国家自然科学基金(51227804;91023041) |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.licp.ac.cn/handle/362003/22229] |
专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
通讯作者 | 吴有智; 王鹏 |
作者单位 | 1.兰州理工大学材料科学与工程学院 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室, 甘肃 兰州 730050 2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 甘肃 兰州 730000 3.兰州理工大学 石油化工学院, 甘肃 兰州 730050 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 贺腾飞,吴有智,许佼,等. 不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能[J]. 摩擦学学报,2017,37(1):35-43. |
APA | 贺腾飞.,吴有智.,许佼.,慕波.,柴利强.,...&王鹏.(2017).不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能.摩擦学学报,37(1),35-43. |
MLA | 贺腾飞,et al."不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能".摩擦学学报 37.1(2017):35-43. |
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