| 题名 | 碳化硅φ600非球面反射镜的加工技术研究 |
| 作者 | 吴令奇 |
| 答辩日期 | 2009-06-04 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 裴云天 |
| 关键词 | 非球面 补偿器 碳化硅 比较球面 |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 英文摘要 | 碳化硅光学材料以其优异的机械、物理以及光学性能成为21世纪空间反射镜的优选材料之一,已经在多个空间光学系统中得到应用。然而国内对其加工机理与工艺尚未形成统一认识,大相对孔径、轻量化的碳化硅非球面反射镜的制造技术已经成为光学工程上的热点之一。 本文研究了碳化硅材料的去除形式和光学加工性能，大口径大相对孔径抛物面的加工技术、面形检测技术及长焦距的精确测量技术，大口径轻量化反射镜的支撑、装夹技术，补偿器的设计、制造关键技术。 通过研究提出了整盘小幅摆动抛光技术，有效地解决了传统加工工艺中的缺陷，提高了加工的效率，加工效果良好。基于大口径碳化硅非球面轻量化程度高，容易变形的特点，设计了独特的支撑、吊装方法，保证了测量结果稳定、可靠。为了精确控制非球面焦距，提出了采用光栅测量法，测量误差在5μm以内。 将以上的研究应用于实践，成功研制了Φ600mm、大相对孔径（1：1.5）、轻量化的碳化硅抛物面反射镜，其面形精度优于λ/70（RMS），焦距控制精度达到0.02%，表面粗糙度优于1.5nm(RMS)。本文的研究成果将为大口径碳化硅光学非球面的制造提供技术参考，并将为碳化硅反射镜在空间光学系统上的应用，起到技术推动与促进作用。 |
| 学科主题 | 红外系统与元部件 |
| 公开日期 | 2012-08-22 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4892]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴令奇. 碳化硅φ600非球面反射镜的加工技术研究[D]. 中国科学院研究生院. 2009. |
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