一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法

	一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法
	姬弘桢; 邹娟娟; 崔宝双
刊名	红外
	2011-07-10
卷号	32 期号:7 页码:9-16
关键词	薄膜厚度测量精确
英文摘要	提出了一种新的薄膜厚度测量方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底，通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化，即可实现薄膜厚度的精确测量。由于过渡层的厚度已经引起干涉，新镀上去的待测薄膜即使很薄，也会引起干涉的变化。通过镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化，可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度，其测量极限高达1 nm以上。该方法既保持了传统光谱法的所有优势，又可以精确测量纳米超薄膜的厚度。它非常简单、快捷，特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控，尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量。
公开日期	2011-08-19
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.1.142/handle/181331/1685]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式 GB/T 7714	姬弘桢,邹娟娟,崔宝双. 一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法[J]. 红外,2011,32(7):9-16.
APA	姬弘桢,邹娟娟,&崔宝双.(2011).一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法.红外,32(7),9-16.
MLA	姬弘桢,et al."一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法".红外 32.7(2011):9-16.