光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析

doi:930589AFAD62531DD4708B35BE28CBF7

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	光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析
	董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福
刊名	中国光学
	2017-12-12
页码	790-797
关键词	光刻物镜调节机构狭缝柔性结构刚度比导向精度
DOI	930589AFAD62531DD4708B35BE28CBF7
英文摘要	设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在不超过柔性结构材料屈服应力等约束条件下,刚度比最优值达到1 573.6,较大的刚度比值可以减小调节机构的耦合位移,从而提高机构的导向精度。该结构加工装配方便,可实现三自由度(θx-θy-Z)调节。对优化后的柔性结构进行仿真分析,结果表明:径向刚度与轴向刚度比值的仿真值为1 660.4,解析值与仿真值误差为5.23%,证明了刚度分析方法的有效性。优化后的结构,轴向调节行程为2.09 mm,绕x轴偏转角度调节行程为±16.6 mrad,绕y轴偏转角度调节行程可达到±14.4 mrad,满足光学元件调节的大行程要求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58554]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	董世则,郭抗,李显凌,等. 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析[J]. 中国光学,2017:790-797.
APA	董世则,郭抗,李显凌,陈华男,&张德福.(2017).光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析.中国光学,790-797.
MLA	董世则,et al."光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析".中国光学 (2017):790-797.