基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统

doi:E826DDA09114688DD59D1E90CCBDD3A0

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	基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统
	吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
刊名	中国光学
	2017-02-15
页码	39-50
关键词	位移测量光栅衍射干涉高精度
DOI	E826DDA09114688DD59D1E90CCBDD3A0
英文摘要	介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58437]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吕强,李文昊,巴音贺希格,等. 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统[J]. 中国光学,2017:39-50.
APA	吕强,李文昊,巴音贺希格,柏杨,刘兆武,&王玮.(2017).基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统.中国光学,39-50.
MLA	吕强,et al."基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统".中国光学 (2017):39-50.