大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术

doi:E8709CD897D2C25B9B246E3DA52CA557

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	大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术
	刘振宇; 李龙响; 曾雪峰; 罗霄; 张学军
刊名	光学精密工程
	2017-04-15
页码	281-287
关键词	光学加工误差分离组合加工高阶误差低阶误差
DOI	E8709CD897D2C25B9B246E3DA52CA557
英文摘要	为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系。最后,根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点,将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低阶面形误差与高阶面形误差,使用不同加工方式分别对高、低阶面形误差驻留时间进行求解。通过多种加工方式组合加工的方法建立了具有针对性的加工策略,有效提高加工效率。结合工程实例,对一块口径为2.04m的非球面SiC反射镜进行了加工试验,单个组合加工周期内面形收敛效率达到61.2%。结果表明,高阶与低阶面形误差均得到较好的去除。材料去除效率与面形收敛效率均得到提高,达到了良好的效果,满足加工需求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58406]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘振宇,李龙响,曾雪峰,等. 大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术[J]. 光学精密工程,2017:281-287.
APA	刘振宇,李龙响,曾雪峰,罗霄,&张学军.(2017).大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术.光学精密工程,281-287.
MLA	刘振宇,et al."大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术".光学精密工程 (2017):281-287.