2m口径平面镜高精度面形检测方法研究
张晓辉; 朱硕
2016-09-25
关键词光学系统 组成元件 成像质量 光学元件 设备费用 像质评价 平面反射镜 系统分辨率 干涉检验 子孔径
英文摘要<正>大口径光学平面反射镜作为光学系统自准检验常用的标准器具,其自身面形精度直接影响光学系统的像质评价结果,同时平面镜作为光学系统中的重要组成元件,其面形精度直接影响光学系统的成像质量。随着对大口径光学系统分辨率要求的提高,光学元件的口径不断增大,目前常用的干涉检验法已无法对口径超过1m的平面镜直接进行全口径面形检测,大口径平面镜面形检测多年来一直受庞大的设备费用与测量设
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58046]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
张晓辉,朱硕. 2m口径平面镜高精度面形检测方法研究[J],2016.
APA 张晓辉,&朱硕.(2016).2m口径平面镜高精度面形检测方法研究..
MLA 张晓辉,et al."2m口径平面镜高精度面形检测方法研究".(2016).
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