用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计

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	用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计
	高松涛; 武东城; 于长淞
刊名	激光与光电子学进展
	2016
期号	9 页码:70-77
关键词	测量计算全息图非球面投影光刻物镜衍射鬼像干涉仪
英文摘要	目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻物镜中的一偶次高次非球面,论述了计算全息图(CGH)相位与空间频率的关系,以及相位与空间频率的计算方法;采用点光源照明模式,详细分析了CGH设计时的关键参数的选择方法和避免CGH非工作衍射级次的干扰的方法;采用所选定的设计参数,加工制作了CGH,并用此CGH完成了对非球面的高精度检测。经过多轮加工检测迭代,最终非球面的收敛精度的均方根(RMS)达到了0.46nm。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57785]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	高松涛,武东城,于长淞. 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计[J]. 激光与光电子学进展,2016(9):70-77.
APA	高松涛,武东城,&于长淞.(2016).用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计.激光与光电子学进展(9),70-77.
MLA	高松涛,et al."用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计".激光与光电子学进展 .9(2016):70-77.