基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法

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	基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法
	关涛 ; 丛培田 ; 刘柱
刊名	传感技术学报
	2017
卷号	30 期号:5 页码:650-654
关键词	光诱导电化学反应金属微电极原子力显微镜电极沉积
ISSN号	1004-1699
其他题名	Fabrication of Metal Microelectrode Based on Optically Induced Electrochemical Deposition
通讯作者	关涛
产权排序	1
中文摘要	纳米材料具有独特的物理化学性质,在纳米电子器件和生物传感等方面显示了巨大的应用潜力。基于二维纳米材料的器件,需要利用金属电极来构建传感器或者场效应晶体管结构。目前,已有一些方法来制备金属电极,如光刻、聚焦离子束及纳米压印等方法,但是这些方法通常需要昂贵的设备,并且操作非常复杂。提出采用基于光诱导的金属纳米电极沉积方法,通过对多个实验参数(包括输入交流电信号的频率、幅值、溶液浓度以及氢化非晶硅层厚度)的分析,得到了优化的金属电极沉积条件。在此基础上,利用光学显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜对制备的金属电极进行了表征。
英文摘要	Nanomaterials have unique physical and chemical properties，which have shown great potential in nano- electronic devices and nano-biosensors. Based on the two-dimensional nano-material devices，it is necessary to use the metal electrodes to create nano-sensors or field-effect transistor structures. At present，there are several methods to fabricate the metal electrodes such as lithography，focused ion beam(FIB) and nanoprinting. However，these methods often require the expensive equipments and are very complicated to operate. We propose a method of for the deposition of micro-electrodes，based on optically-induced metal electrodeposition, By analyzing the experimental parameters(including the frequency，amplitude，solution concentration and thickness of hydrogenated amorphous silicon layer)，the optimized deposition conditions of the micro-electrodes were obtained. Then，the prepared micro- electrodes were characterized by the optical microscope，atomic force microscope(AFM) and scanning electron microscope(SEM).
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:5997620
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/20777]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
作者单位	1.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 2.沈阳理工大学机械工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	关涛,丛培田,刘柱. 基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法[J]. 传感技术学报,2017,30(5):650-654.
APA	关涛,丛培田,&刘柱.(2017).基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法.传感技术学报,30(5),650-654.
MLA	关涛,et al."基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法".传感技术学报 30.5(2017):650-654.