| 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 | |
谭艾英1 ; 杨若夫1; 孙秀辉1; 尹韶云1; 蔡文涛1; 陈建军1
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| 2018-05-08 | |
| 著作权人 | （1）中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 专利号 | 2017214229212 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx，Y方向的尺寸为Ly，LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1，Y方向的尺寸为Ly1；若Lx＜Ly，所需LED光源模块的数量N＝Lx/Lx1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若Lx＞Ly，所需LED光源模块的数量N＝Ly/Ly1，滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑，降低了成本。 |
| 分类号 | G03f7/20(2006.01)i |
| 申请日期 | 2017-10-31 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 已授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5796]  |
| 专题 | 集成光电技术研究中心 |
| 作者单位 | 1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2.张家港奇点光电科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭艾英,杨若夫,孙秀辉,等. 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机. 2017214229212. 2018-05-08. |
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