有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法

	有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法
	冷重钱; 史浩飞; 罗伟; 邵丽; 尹韶云; 杜春雷
	2016-03-16
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2014101309506
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿器件材料传输方向先后设置；所述惰性气体腔室内还设置有水分析仪和氧分析仪；本发明的卷对卷设备和制备方法能实现连续、快速、大规模制备有机光电子器件，冲破传统工艺成本高，不能连续、快速、大规模制备的产业化障碍，同时为柔性透明有机器件的制备提供了一个极佳方法。
分类号	H01l51/56(2006.01)i
申请日期	2014-03-24
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5512]
专题	微纳制造与系统集成研究中心集成光电技术研究中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	冷重钱,史浩飞,罗伟,等. 有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法. 2014101309506. 2016-03-16.