梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响

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	梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响
	赵佳群 1; 李刘合 1; 景凯 1; 许亿 1; 刘红涛 1; 李光2
刊名	表面技术
	2017-01-20
卷号	46 期号:01 页码:82-87
关键词	类金刚石涂层梯度过渡层硬质合金耐磨性真空阴极电弧 Pecvd
ISSN号	1001-3660
产权排序	北京航空航天大学;中国科学院力学研究所;
英文摘要	目的分析不同类型的梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石涂层耐磨性能的影响,制备出能有效改善硬质合金减摩抗磨性能的类金刚石涂层。方法采用真空阴极电弧离子镀和等离子体增强化学沉积技术,在硬质合金基底上制备了Ti/TiC/DLC、Ti/TiN/DLC、Ti/TiN/TiNC/DLC和Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC四种类型的Ti多元梯度过渡类金刚石涂层。通过GNEHM-150型洛氏硬度计和电子显微镜、MFT-4000多功能材料表面性能试验仪、纳米硬度测试仪,分别评价不同类型多元梯度过渡层对硬质合金类金刚石涂层的膜基结合强度、摩擦磨损性能及纳米硬度。结果 Ti/TiC/DLC、Ti/TiN/DLC、Ti/TiN/TiNC/DLC和Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC四种类型涂层的膜基结合强度等级分别为HF3-HF4、HF5-HF6、HF1-HF2、HF1,对两种膜基结合强度较好的涂层（Ti/TiN/TiNC/DLC、Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC）进行摩擦磨损检测,其摩擦系数分别为0.2、0.1,且经过60 min对摩,Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC涂层仍未出现明显剥落。结论梯度过渡层的类型对薄膜的膜基结合强度、摩擦性能有较明显的影响,Ti/TiN/TiNC/TiC/DLC结构的涂层膜基结合强度最好,具有最低的摩擦系数,表现出了优异的减摩抗磨性能,可有效改善硬质合金表面的耐磨性能。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:5915296
资助机构	国家自然科学基金(11275020) ; 国家04科技重大专项(2014ZX04012012) ; 中航工业通飞科技发展研究项目(TFKY2013002)~~
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/71963]
专题	力学研究所_先进制造工艺力学重点实验室
作者单位	1.北京航空航天大学,北京100191; 2.中国科学院力学研究所,北京100191
推荐引用方式 GB/T 7714	赵佳群,李刘合,景凯,等. 梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响[J]. 表面技术,2017,46(01):82-87.
APA	赵佳群,李刘合,景凯,许亿,刘红涛,&李光.(2017).梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响.表面技术,46(01),82-87.
MLA	赵佳群,et al."梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响".表面技术 46.01(2017):82-87.