非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究

	非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究
	汪永强; 关志豪; 廖常庚; 姜汴婴; 项金钟
刊名	兰州大学学报(自然科学版)
	1991-10-01
期号	3 页码:53-58
关键词	共振核反应非晶硅多层膜氢浓度分布高斯分辨函数
ISSN号	0455-2059
中文摘要	本文利用8.42MeV窄共振核反应~1H(~(19)F,αv)~(16)O研究了辉光放电制备非晶硅多层膜中氢的深度分布、游动性及其随退火温度的关系。引进高斯分辨函数简化了数据处理过程,得到氢浓度随深度的分布情况,对氢污染及测氢标准进行了讨论。
出版地	Lanzhou
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.lzu.edu.cn/handle/262010/130529]
专题	核科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	汪永强,关志豪,廖常庚,等. 非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究[J]. 兰州大学学报(自然科学版),1991(3):53-58.
APA	汪永强,关志豪,廖常庚,姜汴婴,&项金钟.(1991).非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究.兰州大学学报(自然科学版)(3),53-58.
MLA	汪永强,et al."非晶硅多层膜中氢的核反应分析研究".兰州大学学报(自然科学版) .3(1991):53-58.