磁控溅射制备BCN薄膜的结构表征及其在离子液体润滑下摩擦学性能研究

	磁控溅射制备BCN薄膜的结构表征及其在离子液体润滑下摩擦学性能研究
	陈友明; 曾志翔; 张广安; 杨生荣; 张俊彦
	2007-11-01
会议名称	第八届全国摩擦学大会
关键词	BCN 薄膜离子液体润滑剂摩擦磨损性能抗腐蚀性能
页码	5
中文摘要	利用中频磁控溅射技术,分别溅射硼靶和石墨靶,在单晶硅衬底上制备了 BCN 薄膜。采用原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)对薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。利用 UMT 摩擦磨损试验机分别考察 BCN 薄膜和类金刚石碳膜(DLC)在 1-正丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液润滑剂润滑下的摩擦磨损性能,并利用电化学腐蚀的方法考察了薄膜在离子液中的耐腐蚀性能,实验结果表明：所制备的 BCN 薄膜均匀、致密,表面粗糙度较小,薄膜中主要含有 B-C、B-N 和 C=N 等价键结构,具有典型的 BCN 薄膜结构特征：在摩擦磨损性能和耐腐蚀性能方面,类金刚石碳膜(DLC)和 BCN 薄...
会议录	第八届全国摩擦学大会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107866]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陈友明,曾志翔,张广安,等. 磁控溅射制备BCN薄膜的结构表征及其在离子液体润滑下摩擦学性能研究[C]. 见:第八届全国摩擦学大会.