磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究

	磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究
	张玉娟; 吴志国; 阎鹏勋
	2004-07-01
会议名称	第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议
关键词	氮化钛磁过滤等离子体纳米薄膜摩擦
页码	3
中文摘要	用带有平面“S”形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FACP)在不锈钢基底上制备了 TiN 薄膜,以往复球盘模式评价了薄膜的摩擦学性能．同时在相同沉积参数下,又用多弧镀(MAIP)制备 TiN 薄膜,发现 FACP 技术制备出的薄膜表面光滑,缺陷少,普遍有明显的(111)面择优取向,而 MAI 制备出的薄膜表面有较多大小不一的颗粒和孔洞且无明显取向。摩擦试验中,低载荷时,FACP 薄膜表现出较好的耐磨性。通过 SEM 观察和 EDS 分析发现,有 TiN 磨屑沉积在其磨斑上．而对 MASIP 薄膜,无转移物质,摩擦系数保持在0．8到0．9之间．
会议录	第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107864]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张玉娟,吴志国,阎鹏勋. 磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究[C]. 见:第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议.