Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究

	Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究
	张广安; 王立平; 吴志国; 王君; 闫鹏勋
	2008-10-01
会议名称	第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
关键词	单层膜 AlN 薄膜硬度纳米多层膜取向生长纳米硬度磁控溅射多层薄膜纳米压痕磨损性能
页码	1
中文摘要	与单层薄膜相比,纳米多层薄膜具有较优异的力学、摩擦磨损、抗氧化及耐腐蚀等性能,引起了材料界与工程界的重视。本试验采用磁控溅射系统制备了Al/AlN纳米多层膜。采用X射线衍射分析(XRD)表征了薄膜的结构,采用纳米压痕仪测量了薄膜的纳米硬度,采用摩擦磨损试验机评价了薄膜的摩擦学性能。结果表明:AlN在单层膜中是以(100)取向生长,而在多层膜中是以(002)取向生长; Al/AlN多层膜的硬度高达24.5 GPa,是单层AlN薄膜硬度的1.9倍; 相对于单层膜,Al/AlN多层膜具有低的摩擦系数和优异的抗磨损性能。
会议录	第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107798]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张广安,王立平,吴志国,等. Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究[C]. 见:第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.