金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响

	金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响
	王静; 张广安; 王立平
刊名	润滑与密封
	2008-05-15
期号	5 页码:30-32+38
关键词	CrN薄膜磁控溅射金属复合摩擦磨损
其他题名	金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响
中文摘要	采用反应磁控溅射制备了CrN、Cr-Al-N与Cr-Ti-N复合薄膜;利用XRD与SEM表征了薄膜的结构及断面形貌;采用摩擦磨损实验机考察了薄膜的摩擦磨损性能;研究了金属复合对薄膜结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:所制备的复合薄膜中Al与Ti均以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体的合金复合薄膜;合金复合后薄膜的结晶性变差,晶粒均出现细化;合金复合薄膜的摩擦磨损性能均有不同程度的提高,其中Cr-Al-N薄膜的耐磨性极大提高。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102724]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王静,张广安,王立平. 金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 润滑与密封,2008(5):30-32+38.
APA	王静,张广安,&王立平.(2008).金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响.润滑与密封(5),30-32+38.
MLA	王静,et al."金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响".润滑与密封 .5(2008):30-32+38.