溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究

	溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究
	周晖; 温庆平; 桑瑞鹏; 万志华; 刘洪柱; 薛德胜
刊名	润滑与密封/Run Hua Yu Mi Feng/Lubrication Engineering
	2006-11-15
期号	11 页码:24-27
关键词	非平衡磁控溅射 MoS_2薄膜掺杂Ti 结构和性能 Adhesion force Ball-on-disc friction Doping Ti Loose column structure Mechanical performance MoS2 coating MoS2-Ti composite coatings Nanoscratch tester Tribological properties Unbalanced magnetron sputtering Vacuum environment Wear tester
ISSN号	02540150
其他题名	Study of structure and mechanical performance changes affected by doping Ti in sputtered MoS2 coating
通讯作者	Zhou, H. (zhouhui510@sina.com.cn)
中文摘要	采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜。用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能。研究结果表明:在溅射沉积MoS2薄膜过程中掺杂金属Ti,有效地阻断了MoS2疏松、多孔柱状晶的优势生长,从而生成组织结构致密、无定形态的薄膜,提高了其与基底间的附着力。掺Ti复合薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能都得到显著改善,真空环境中10%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的37倍,大气环境中20%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的67倍。
学科主题	542.3 Titanium and Alloys;741.1 Light/Optics;801 Chemistry;804.2 Inorganic Compounds;813.1 Coating Techniques;931.2 Physical Properties of Gases, Liquids and Solids
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102614]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	周晖,温庆平,桑瑞鹏,等. 溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究[J]. 润滑与密封/Run Hua Yu Mi Feng/Lubrication Engineering,2006(11):24-27.
APA	周晖,温庆平,桑瑞鹏,万志华,刘洪柱,&薛德胜.(2006).溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究.润滑与密封/Run Hua Yu Mi Feng/Lubrication Engineering(11),24-27.
MLA	周晖,et al."溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究".润滑与密封/Run Hua Yu Mi Feng/Lubrication Engineering .11(2006):24-27.