电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用

	电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用
	王维洁; 才勇; 王天民
刊名	微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology
	1993-12-31
期号	4 页码:13-22
关键词	电子能量损失谱类金刚石碳膜结构表征 Diamond like carbon film Electron energy loss spectroscopy Energy loss measurement
ISSN号	10038213
其他题名	Application of electron-energy loss spectroscopy in characterizing diamond-like carbon film
通讯作者	Wang, Weijie
中文摘要	本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金刚石碳膜经某些后处理后其能量损失谱的变化特征。
学科主题	539.2.2 Protecting Materials;813.2 Coating Materials;932.3 Plasma Physics
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102039]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王维洁,才勇,王天民. 电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用[J]. 微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology,1993(4):13-22.
APA	王维洁,才勇,&王天民.(1993).电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用.微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology(4),13-22.
MLA	王维洁,et al."电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用".微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology .4(1993):13-22.