多孔β-SiC薄膜的蓝光发射

	多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
	张志敏; 谢二庆; 林洪峰; 马紫微; 叶凡; 贺德衍
刊名	半导体学报
	2003-09-08
期号	9 页码:942-945
关键词	电化学腐蚀多孔SiC薄膜蓝光发射 PL SEM
其他题名	多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
中文摘要	通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了 β SiC薄膜 ,用HF酸 (40 % )和C2 H5OH(99% )的混合溶液对 β SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理 ,形成了多孔 β SiC(PSC)薄膜 .利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光 (PL)特性 ,用原子力显微镜 (AFM)和扫描电子显微镜 (SEM )观察了样品腐蚀前后的表面形貌 .结果表明 :多孔 β SiC薄膜具有较强的蓝光发射特性 ;通过改变腐蚀时间 ,可以改变蓝光发射的强度 ,也可以观察到蓝光红光同时发射的现象 ;降低HF酸的浓度 ,蓝光发射峰明显变弱 ,并对多孔 β SiC薄膜的发光机理及其微观结构进行了讨论 .
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101111]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张志敏,谢二庆,林洪峰,等. 多孔β-SiC薄膜的蓝光发射[J]. 半导体学报,2003(9):942-945.
APA	张志敏,谢二庆,林洪峰,马紫微,叶凡,&贺德衍.(2003).多孔β-SiC薄膜的蓝光发射.半导体学报(9),942-945.
MLA	张志敏,et al."多孔β-SiC薄膜的蓝光发射".半导体学报 .9(2003):942-945.