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题名	LC内嵌式无线压力传感器研究; Research on the Intrinsically Packaged LC Wireless Pressure Sensor
作者	郑成
答辩日期	2016-12-21 ; 2016-05-22
导师	孙道恒
关键词	无线压力传感器 LC谐振 wireless pressure sensor LC resonance
英文摘要	LC谐振无线压力传感器采用无线无源方式实现对压力信号的检测，适用于狭小封闭的空间以及高温、腐蚀的恶劣环境，在生物医疗、航空航天、工业控制等领域具有广阔的应用前景。目前，国内主要采用LTCC、HTCC技术制备LC谐振无线压力传感器，其敏感元件尺寸大，灵敏度低，且电感线圈制作在结构外部，容易受外部环境破坏，降低了传感器的实用性。而采用MEMS技术能够制备小尺寸、高灵敏度、内嵌式的LC谐振无线压力传感器，提高LC谐振无线压力传感器的实用性。因此，本论文提出并实现一种基于MEMS技术的LC内嵌式无线压力传感器，主要研究工作如下： (1)结合MEMS技术，提出了两种LC内嵌式无线压力敏感元件的结构方案...; The LC resonant wireless pressure sensor has broad application prospects in the harsh environments such as biomedical, aerospace, and industrial controlling, since it requires no power supply and transfers sensor signal wirelessly by inductive coupling. At present, the LC resonant wireless pressure sensor is mainly fabricated by LTCC technology or HTCC technology. It has large sensor size, low se...; 学位：工学硕士; 院系专业：航空航天学院_测试计量技术及仪器; 学号：19920131152909
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=56774
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/130084]
专题	航空航天－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郑成. LC内嵌式无线压力传感器研究, Research on the Intrinsically Packaged LC Wireless Pressure Sensor[D]. 2016, 2016.

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