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题名	DLC膜的多气源制备及应用; DLC film prepared with multiple gas sources and its applications
作者	魏晓丽
答辩日期	2016-12-23 ; 2016-05-20
导师	王辅明
关键词	类金刚石 PECVD 气源 甲烷 乙炔 光学镀膜 DLC PECVD Source Gas Methane Acetylene Optical Coating
英文摘要	类金刚石膜(Diamond-LikeCarbon，DLC)是一种介于金刚石和石墨之间的非晶结构材料。类金刚石膜具有和金刚石类似的许多独特的优良性能，因此被广泛应用在机械、光学、电学以及生物等领域。 等离子体化学气相沉积(PECVD)法是生长含氢DLC膜的常见方法，通常把衬底放在PECVD腔体中的源电极上生长DLC薄膜，这样生长的DLC膜具有更高的硬度。本文采用浸入式PECVD方法生长DLC薄膜，把衬底浸入到等离子体中，使其面临的电场强度和离子团密度等生长参数有别于源电极式PECVD法，因而获得的DLC薄膜样品也具有不同结构和性质。本文分别采用甲烷和乙炔为源气体制备一系列DLC膜，并利用原子力...; DLC film (Diamond-Like Carbon, DLC) is an amorphous carbon material with many similar properties as crystalline diamond, and is widely used in mechanical, optical, electrical and biological fields. Plasma chemical vapor deposition (PECVD) method is a common method for the growth of hydrogenated DLC films, and the substrate is usually placed on the powered electrode of PECVD cavity to grow DLC fil...; 学位：工程硕士; 院系专业：物理科学与技术学院_工程硕士(电子与通信工程); 学号：19820131152997
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=56781
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/134406]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	魏晓丽. DLC膜的多气源制备及应用, DLC film prepared with multiple gas sources and its applications[D]. 2016, 2016.

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