| 题名 | 纳米结构TiO2的制备及Nb掺杂锐钛矿TiO2MSM结构紫外光电探测器的研制; Preparation of nanostructure TiO2 materals and fabrication of MSM ultraviolet photodetectors based on Nb doped antase TiO2 |
| 作者 | 张自锋 |
| 答辩日期 | 2016-03-22 ; 2015-07-13 |
| 导师 | 吴正云 |
| 关键词 | 二氧化钛 纳米结构 脉冲激光沉积 Nb掺杂 MSM紫外光电探测器 TiO2 nanostructure pulse laser deposition Nb doped MSM UV detector |
| 英文摘要 | 随着宽禁带半导体材料与器件技术的快速发展，基于宽禁带半导体的紫外探测器有望取代传统的硅基紫外探测器。TiO2材料主要吸收紫外辐射，对可见光几乎不吸收，制备的探测器紫外光/可见光响应对比度较高，因此具有可见光盲和高紫外探测灵敏度特性。另外，TiO2材料制备工艺相对简单，适合用于制备成本较低的紫外探测器。目前，TiO2基紫外探测器的研究大多采用纯锐钛矿相和金红石相的TiO2薄膜材料。对于纳米结构的TiO2薄膜材料和掺杂的TiO2基光电探测器的制备及其性能还知之甚少，本研究工作的主要内容可以分为两大部分：一、TiO2纳米材料的制备；二、Nb掺杂的TiO2材料的制备和基于Nb掺杂的TiO2光电探测器的...; As the grown technology develops rapidly, wide band gap semiconductor will replace Si for the fabrication of photodetectors. TiO2 nearly does not absorb visible light, which makes TiO2-based photodetectors show high sensitivity to UV/visible. What is more, the growth of TiO2 films is simple, which is beneficial to low UV photodetectors manufacture. At the moment, the reported TiO2 based UV photode...; 学位：工学博士; 院系专业：物理与机电工程学院_微电子学与固体电子学; 学号：19820120153907 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=52423 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/134225]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张自锋. 纳米结构TiO2的制备及Nb掺杂锐钛矿TiO2MSM结构紫外光电探测器的研制, Preparation of nanostructure TiO2 materals and fabrication of MSM ultraviolet photodetectors based on Nb doped antase TiO2[D]. 2016, 2015. |
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