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题名	PZT薄膜材料的生长与应用; Growth and Application of PZT Thin Films
作者	包达群
答辩日期	2009 ; 2009
导师	郭航
关键词	锆钛酸铅 溶胶凝胶 谐振器 Lead Zirconate Titanate Sol-gel Bulk Acoustic Wave Resonator
英文摘要	随着铁电薄膜和微电子技术相结合而发展起来的集成铁电学的出现，铁电薄膜的制备、结构、性能及其应用已成为国际上新材料研究十分活跃领域，其中钙钛矿结构的锆钛酸铅Pb（Zrx，Ti1-x）O3（PZT）铁电薄膜由于具有优越铁电、介电、压电、热释电以及能够与半导体技术兼容等特点，使之在微机电系统（MEMS）等领域具有广泛的应用前景。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS领域的各个方面，例如压电激励器、焦热红外探测器、随机存储器和超声器件。为了满足不断提高的微纳米机械器件的要求和与硅基器件的兼容，在硅衬底上生长高质量的PZT薄膜就变得越来越重要。 ...; As the appearance of integrated ferroelectrics technology, which develop by combining ferroelectric thin films with micro-electronic technology. Preparation, structure, properties and applications of ferroelectric thin films has become very active researching in the field of new materials. Among this, Lead Zirconate Titanate Pb(Zrx, Ti1-x)O3(PZT) ferroelectric thin films which has perovskite struc...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_微电子学与固体电子学; 学号：19820061151816
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=21912
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54230]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	包达群. PZT薄膜材料的生长与应用, Growth and Application of PZT Thin Films[D]. 2009, 2009.

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