| 题名 | 约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究; Study on Complex 3-Dimensional Microstructure Machining on Metal Surface by Confined Etchant Layer Technique |
| 作者 | 蒋利民 |
| 答辩日期 | 2007 ; 2007 |
| 导师 | 田昭武 |
| 关键词 | 约束刻蚀剂层技术 微纳米结构 三维微加工 微机电系统 金属 Confined etchant layer technique micro or nanostructure 3D micromachining MEMS metal |
| 英文摘要 | 摘要 微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）是当今科学技术的热点研究领域之一。微机电系统，泛指体积微小、集微型机械、微型传感器、微型信号处理器、微型执行器、直至接口、通讯和电源等于一体，具有多种功能的系统。微机电系统不但通过微型化和集成化达到节省空间、时间、材料和能源的目的，并且具有小惯性、易控制、高速度、高功能密度、高信息密度、高互联密度等特点，更重要的还在于它可以完成大尺寸系统所不能完成的任务，延拓人们认识自然的视野，开辟新的技术领域和产业。 微纳米尺度的微结构加工技术是今日微机电系统和微光机电系统技术的关键部分。微机电系统和微光机电系统的制造需要高深宽比的复杂三维微结...; Abstract The research on microelectromechanical system (MEMS) has received more and more attention in recent years. The development of novel techniques to fabricate the micro- or nano-structures is one of the key problems for the advance of MEMS. At present, the dominant techniques to fabricate microstructures, such as IC and LIGA, all are based on the photolithography. However, they are suitable...; 学位：理学博士; 院系专业：化学化工学院化学系_物理化学(含化学物理); 学号：B200425030 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=16272 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/35208]  |
| 专题 | 化学化工－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋利民. 约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究, Study on Complex 3-Dimensional Microstructure Machining on Metal Surface by Confined Etchant Layer Technique[D]. 2007, 2007. |
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