| 题名 | FeCo基高频软磁多层膜的制备与性能研究; Fabrication and performance of the FeCo based high-frequency soft magnetic multilayer thin films |
| 作者 | 袁贝贝 |
| 答辩日期 | 2017-01-06 ; 2016-05-21 |
| 导师 | 彭栋梁 |
| 关键词 | 磁控溅射 多层膜 软磁性能 magnetron sputtering multilayer film soft-magnetic properties |
| 英文摘要 | 随着电子和信息产业的高速发展，电子元器件不断向高频化、微型化和集成化发展，对应用于其中的功能材料提出了更高的要求。特别是磁性电子元器件的小型化要求材料同时具有高磁导率、高电阻率、高铁磁共振频率以及微小尺度和工艺兼容性。目前仍然缺乏合适的磁性材料。开发高性能纳米软磁薄膜材料成为电子和信息产业发展的重要突破口，引起广泛的关注和研究。本文针对可应用于平面微电感中的磁芯薄膜材料对一系列双磁性相纳米软磁多层膜进行了研究。本文中双磁性相纳米软磁多层膜以高饱和磁化强度的FeCo-O作为磁性层，以高电阻率的亚铁磁NiZn-铁氧体作为中间间隔层。铁氧体具有高的电阻率并提供一定磁矩，因而可尽可能减小中间绝缘层的加...; With the rapid development of electronics industry and information industry, high operation frequency, miniaturization and high integration becomes the development trend of the electronic components. As a result, there are higher requirements for the function materials used in these devices, such as high permeability, high ferromagnetic resonance frequency, high electrical resistivity, mini-size a...; 学位：工程硕士; 院系专业：材料学院_工程硕士(材料工程); 学号：20720131150114 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=55699 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/127909]  |
| 专题 | 材料学院－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁贝贝. FeCo基高频软磁多层膜的制备与性能研究, Fabrication and performance of the FeCo based high-frequency soft magnetic multilayer thin films[D]. 2017, 2016. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论