Co/Sb多层膜非单色反射率的计算

CORC > 上海交通大学

	Co/Sb多层膜非单色反射率的计算
	冯仕猛 ; 赵海鹰 ; 邵建达 ; 范正修 ; 窦晓鸣
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=KXTB200312006&dbname=CJFQ2003
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	反射率能量分辨率多层膜
中文摘要	Co/Sb多层膜在光子能量为528 eV和掠入射为10.3°时有近62％理论反射率。推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法,分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响。结果表明:Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性,如果入射光能量分辨率小,将导致测量反射率远小于理论反射率.只有在入射光能量分辨率达到1600以上,测量反射率才等于多层膜实际反射率。给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值,这与实验结果是吻合的。
语种	中文
其他责任者	上海交通大学物理系 ; 中国科学院上海光学精密机械研究所 ; 上海交通大学物理系上海 200240 ; 上海 200240 ; 上海 201800
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/231030/982]
专题	上海交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	冯仕猛,赵海鹰,邵建达,等. Co/Sb多层膜非单色反射率的计算[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=KXTB200312006&dbname=CJFQ2003,2012, 2012.
APA	冯仕猛,赵海鹰,邵建达,范正修,&窦晓鸣.(2012).Co/Sb多层膜非单色反射率的计算.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=KXTB200312006&dbname=CJFQ2003.
MLA	冯仕猛,et al."Co/Sb多层膜非单色反射率的计算".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=KXTB200312006&dbname=CJFQ2003 (2012).