| 微波表面波等离子体的产生与特性研究 | |
| 张庆 ; 张贵新 ; 王淑敏 ; 刘亮 ; Zhang qing ; Zhang guixin ; Wang shumin ; Liu liang | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 2009年全国微波毫米波会议论文集（下册） ; 2009年全国微波毫米波会议 ; 中国陕西西安 ; CNKI ; 中国电子学会(Chinese Institute Electronics) |
| 关键词 | 大气压 微波等离子体源 光谱分析 Atmospheric Pressure Microwave Plasma Source Spectral Analysis O531 |
| 其他题名 | Production and Characteristics of Plasma Based on Surface Microwave |
| 中文摘要 | 利用微波能量在大气压下产生大体积稳定等离子体一直是等离子体源的主要研究内容。本文基于两种不同介质界面表面波理论,设计了一套高效率的微波等离子体源,该装置用主频为2.45GHz大功率微波源提供微波能量,经过优化设计可以使相对难电离的He在大气压下形成稳定的等离子体。同时对等离子体形成过程的现象和微波能量的交换方式进行了分析,通过光谱分析对等离子体进行了研究,结果表明这种微波等离子体具有很好的物理和化学特性,可以应用到表面处理、材料合成和杀菌等领域。; The production of large-volume and atmospheric pressure plasma generated by mirowave energy has been the main research contents.In this papar based on the electromagnetic wave theory on two different media interface,a highly efficient microwave plasma source was designed,which is supplied by the 2.45GHz frequency microwave source.This plasma source can successfully generate Helium plasma relatively difficult to produce at atmospheric pressure.Moreover the phenomenon of plasma ionization process and energy exchange mode were analyzed,and the characterictics of plasma was studied by spectral analysis, showing that the microwave plasma generated has a good physical and chemical properties,which can be applied to the surface treament,materials synthesis and sterilization.; 国家自然科学基金项目(50477005); 清华大学科研创新基金项目(JCpy2005053) |
| 会议录出版者 | 电子工业出版社(Publishing House of Electronics Industry) |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/66586]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张庆,张贵新,王淑敏,等. 微波表面波等离子体的产生与特性研究[C]. 见:2009年全国微波毫米波会议论文集（下册）, 2009年全国微波毫米波会议, 中国陕西西安, CNKI, 中国电子学会(Chinese Institute Electronics). |
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