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	硅基TPMS集成传感器研究
	张兆华 ; 刘兵武 ; 张艳红 ; 谭智敏 ; 林惠旺 ; 刘理天 ; ZHANG Zhao-hua ; LIU Bing-wu ; ZHANG Yan-hong ; TAN Zhi-min ; LIN Hui-wang ; LIU Li-tian
	2010-06-09 ; 2010-06-09
关键词	TPMS 压力传感器 温度传感器 压阻效应 应力分布 TPMS pressure sensor piezoresistive effect stress distribution temperature sensor TP212.1
其他题名	Design and Fabrication of Silicon Integrated Sensor Chip Used for TPMS
中文摘要	本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.; A sensor chip for Tire Pressure Monitor System (TPMS) is design and fabricated,which consist of piezoresistive pressure sensor and temperature sensor. According to the requirement of the full scale, a high proportion of thickness and area of the diaphragm is used. This design result in the high stress area spread outside of the diaphragm, a high sensitivity of the sensor is achieved. High concentration injection is used for lower zero output.; 浙江省科技攻关重大专项资助(2005C11015)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/56808]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张兆华,刘兵武,张艳红,等. 硅基TPMS集成传感器研究[J],2010, 2010.
APA	张兆华.,刘兵武.,张艳红.,谭智敏.,林惠旺.,...&LIU Li-tian.(2010).硅基TPMS集成传感器研究..
MLA	张兆华,et al."硅基TPMS集成传感器研究".(2010).

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