基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器

CORC > 清华大学

	基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
	邓元龙 ; 赵小丽 ; 李学金 ; 耿优福 ; 洪学明 ; 邱成军
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=SZDL201101004&dbname=CJFQ2011
	2012-04-27 ; 2012-04-27
关键词	传感器技术光纤光学压力测量微机电系统 Fabry-Perot干涉方形硅膜强度调制
中文摘要	研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
语种	中文
其他责任者	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室 ; 黑龙江大学电子工程学院
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/244041/1680]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	邓元龙,赵小丽,李学金,等. 基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=SZDL201101004&dbname=CJFQ2011,2012, 2012.
APA	邓元龙,赵小丽,李学金,耿优福,洪学明,&邱成军.(2012).基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=SZDL201101004&dbname=CJFQ2011.
MLA	邓元龙,et al."基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=SZDL201101004&dbname=CJFQ2011 (2012).