| 光学超宽带增透膜的复合制作方法(授权发明） | |
| 王晋峰; 王烨儒; 田杰 | |
| 2015-01-08 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL201510010517.3 |
| 专利类型 | 发明 |
| 关键词 | 王晋峰 王烨儒 田杰 |
| 中文摘要 | 超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。 本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。 |
| 学科主题 | 天文技术与方法 |
| 授权日期 | 2016-05-18 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1364]  |
| 专题 | 南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_专利 南京天文光学技术研究所_大口径光学技术研究室_专利 |
| 作者单位 | 南京天文光学技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晋峰,王烨儒,田杰. 光学超宽带增透膜的复合制作方法(授权发明）. ZL201510010517.3. 2015-01-08. |
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