覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统 | |
于淑会; 郭欧平; 罗遂斌; 孙蓉 | |
2014-10-27 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 201420627332.8 |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
授权日期 | 2015-04-08 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/8160] |
专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
作者单位 | 2014-10-27 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于淑会,郭欧平,罗遂斌,等. 覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统. 201420627332.8. 2014-10-27. |
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