覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统
于淑会; 郭欧平; 罗遂斌; 孙蓉
2014-10-27
专利国别中国
专利号201420627332.8
专利类型实用新型
权利人中国科学院深圳先进技术研究院
授权日期2015-04-08
内容类型专利
源URL[http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/8160]  
专题深圳先进技术研究院_先进院专利
作者单位2014-10-27
推荐引用方式
GB/T 7714
于淑会,郭欧平,罗遂斌,等. 覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统. 201420627332.8. 2014-10-27.
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