沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究

	沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究
	于天燕 ; 秦杨 ; 刘定权
刊名	物理学报
	2013-01-01
卷号	62 期号:21
关键词	硫化锌薄膜沉积温度表面形貌光学常数
中文摘要	对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究,结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响,不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向,牢固度也大不相同;不同沉积温度下,ZnS薄膜的光学常数也不尽相同.温度为115℃和155℃时,ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差,不适合空间用光学薄膜的研制使用.而190℃和230℃沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能,适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用.
学科主题	红外探测材料与器件
公开日期	2014-11-05
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.1.142/handle/181331/7566]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式 GB/T 7714	于天燕,秦杨,刘定权. 沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究[J]. 物理学报,2013,62(21).
APA	于天燕,秦杨,&刘定权.(2013).沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究.物理学报,62(21).
MLA	于天燕,et al."沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究".物理学报 62.21(2013).