基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析
吴腊红; 饶学军; 杨金生
2012
会议名称第十届全国光电技术学术交流会论文集
会议日期2012
关键词光学检测 旋转-平移法 夏克-哈特曼波前传感器 绝对检测
卷号2
通讯作者吴腊红
中文摘要用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器,在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中,一般将其视为理想状态,忽略了其本身所带误差。为满足高精度检测要求,平面反射镜或标准球面镜面形误差不可忽略。本文详细推导了旋转-平移法的理论公式,并采用旋转-平移的绝对检测方法进行仿真分析,获得平面反射镜面形误差。仿真结果表明:仿真获得的平面反射镜面形误差残差与初始所设相差很小,与初始所设值很好的吻合。
语种中文
内容类型会议论文
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7765]  
专题光电技术研究所_自适应光学技术研究室(八室)
作者单位1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
推荐引用方式
GB/T 7714
吴腊红,饶学军,杨金生. 基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析[C]. 见:第十届全国光电技术学术交流会论文集. 2012.
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