一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析

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	一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析
	刘志祥 ; 邢廷文 ; 蒋亚东 ; 吕保斌
刊名	激光与光电子学进展
	2015
卷号	52 期号:11 页码:131-138
关键词	测量相移剪切干涉仪调制度函数波像差
通讯作者	刘志祥
中文摘要	为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理,推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子,分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响,发现测量范围主要受到高级球差和大剪切比限制。设计了一维相移剪切干涉仪的可见光实验装置,在632.8 nm波长分别使用周期为9 mm、18 mm一维光栅测量了一个NA=0.25显微物镜的波像差,实验结果表明:光栅周期为18 mm时可以正确测量,光栅周期为9 mm时,调制度存在反转点,像差超出测量范围,并验证调制度函数分析结果的正确性。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4267]
专题	光电技术研究所_应用光学研究室（二室）
作者单位	1.中国科学院光电技术研究所 2.电子科技大学光电信息学院 3.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘志祥,邢廷文,蒋亚东,等. 一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析[J]. 激光与光电子学进展,2015,52(11):131-138.
APA	刘志祥,邢廷文,蒋亚东,&吕保斌.(2015).一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析.激光与光电子学进展,52(11),131-138.
MLA	刘志祥,et al."一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析".激光与光电子学进展 52.11(2015):131-138.