| 在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法 | |
| 裴为华 ; 张贺 ; 王宇 ; 陈远方 ; 陈弘达 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 公开日期 | 2016-09-02 |
| 申请日期 | 2014-07-15 |
| 专利申请号 | CN201410335136.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27352]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 裴为华,张贺,王宇,等. 在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法. |
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