溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究

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	溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
	姜永睿 ; 胡雄伟 ; 杨沁清 ; 王红杰 ; 杨澜 ; 郑金红 ; 谢二庆
刊名	光子学报
	2004
卷号	33 期号:9 页码:1140-1143
中文摘要	采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因.
英文摘要	采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:06:21导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4723.pdf: 255385 bytes, checksum: 30ba4aecdf4abca7a803074c14171066 (MD5) Previous issue date: 2004; 国家自然科学基金,国家重点基础研究发展规划; 中科院半导体研究所光电子研究发展中心;北京化学试剂研究所;兰州大学物理科学与技术学院
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金,国家重点基础研究发展规划
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17413]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	姜永睿,胡雄伟,杨沁清,等. 溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究[J]. 光子学报,2004,33(9):1140-1143.
APA	姜永睿.,胡雄伟.,杨沁清.,王红杰.,杨澜.,...&谢二庆.(2004).溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究.光子学报,33(9),1140-1143.
MLA	姜永睿,et al."溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究".光子学报 33.9(2004):1140-1143.